Vegyi mechanikai polírozógép (CMP)
SZAKÉRTŐ az ultraprecíz síkmegmunkálásban
Az LSTD létrehozása óta teljes mértékben az ultraprecíz síkmegmunkálásra összpontosít. Új és fejlett lapolási/polírozási termékek és technológiák fejlesztése és bevezetése az ügyfelek számára világszerte; Az ultraprecíziós lapos megmunkálás terén gazdag tapasztalattal rendelkező LSTD elkötelezett abban, hogy ügyfeleinknek világszerte megbízható teljes körű megoldásokat kínáljon.
Különböző anyagok integrált know-how-jából nyert szakértelem
Az általunk kiszolgált iparágak a következők: félvezetőgyártás, optoelektronika, precíziós optika, precíziós kerámia, atomerőmű, kőolaj kitermelés és ipari alkalmazás.
Elkötelezett a személyre szabott teljes körű megoldások nyújtása
Teljesítse az ügyfelek igényeit a gépek és gépmódosítások, fogyóeszközök, folyamatfejlesztés, alvállalkozói szolgáltatások terén.
Vegyi mechanikai polírozó (CMP) gép
CP vegyi mechanikus polírozógép (CMP gép)
- A CMP sorozat képes feldolgozni olyan félvezető anyagok gyártóit, mint az SI, SIC, GaAs, lnP, GaN, CdTe, gyémánt stb.
- A lemez átmérője 381-1500 mm.
- Nyomólap átmérője 139 mm-től 576 mm-ig.
- Ostya betöltési kapacitás 2 hüvelyk 3 hüvelyk 4 hüvelyk 5 hüvelyk 6 hüvelyk 8 hüvelyk 12 hüvelyk
Precíz viaszkötő gép
- A nyomólemezt, a hűtőlemezt és a berendezés egyéb lapos nyomóelemeit vagy nyomóelemeit csiszolják, hogy szabályozzák síkosságukat és hatékonyan biztosítsák a viaszolás pontosságát.
- Nyomólap átmérő 360mm Max.
- fűtési hőmérséklet 300 fok
- Pneumatikus;Max.350kg
Többfunkciós polírozógép
- Az MFP{0}}A egy többfunkciós polírozógép, amelyet kifejezetten a félvezető berendezések tartozékaihoz fejlesztettek ki.
- Vákuumos tokmány átmérője 450 mm, a munkadarab maximális átmérője 576 mm.
- Tipikus alkalmazás: szilícium maratott gyűrű, szilícium marató gyűrű, szilikon felső elektróda, zuhanyfej
- A polírozólemez vízszintes mozgási távolsága: 0-140mm
Automata ostyabontó gép
- A félvezető polírozó műhely segédberendezése, amely a kerámialapra viasszal ragasztott ostyákat aprítókéssel automatikusan kazettába tölti.
- Önálló készülékként használható, amivel hatékonyan csökkenthető az ostyatörés, karcolás stb.
- Nagymértékben javítja a kaparás hatékonyságát.
Miért a legjobb megoldás az LSTD?
95,000 négyzetláb termelés és készlet.
Félvezető K+F központ és saját tulajdonú SiC szelet automatikus polírozó sor.
Elkötelezett K+F csapat BS vagy magasabb fokozattal a folyamatfejlesztésre összpontosítva.
Globális értékesítési támogatás, ügyfelek kiszolgálása szerte a világon (USA, Franciaország, Németország, Szingapúr, Dél-Afrika stb.)
Forrón értékesített termékek
